Itnewsrussia.ru

Анализ современных технологий

Характеристики диффузионных резисторов

Пассивные элементы ППИС (резисторы) изготавливаются в том же едином технологическом цикле, что и активные элементы. Все расчеты диффузионных резисторов основаны на размерах областей активных элементов.

Распределение примесей в объеме резистора вглубь кристалла соответствует распределению примесей в эмиттерной или в базовой области ППИС (рис. 4 и 5), так как диффузионные резисторы изготовляются одновременно с изготовлением ППИС. Поэтому диффузионные резисторы подразделяются на резисторы эмиттерного или базового типа.

Характеристики резисторов зависят от того, какой слой транзисторной структуры использован в качестве резистивного (табл. 3).

Таблица 3. Характеристики резисторов эмиттерного и базового типа

Тип резистора

Номиналы

Сопр.слоя

D

Rсл

/Rсл

ТКС, 106

0

C>

Базовый

100…30000

200

10

+2500

Эмиттерный

5…50

2,5

30

+100

Рис. 4. Типовое распределение примесей в структуре биполярных транзисторов ППИМС с диодной (р-п) изоляцией

Рис. 5. Распределение примесей вглубь кристалла

Размеры для диффузионных резисторов в плоскости кристалла определяются размерами диффузионного окна, которые могут быть линейного или зигзагообразного типа. Формы диффузионных резисторов приведены на рис.6.

г)

Рис. 6. Формы диффузионных резисторов.

На Рис. 6:

а) и б) линейные резисторы;

в) зигзагообразный;

г) низкоомный резистор.

Для снижения погрешности выполнения диффузионных резисторов необходимо учитывать влияние контактных о6ластей на сопротивление резисторов (рис. 7 и 8).

Рис. 7. Линии тока и эквипотенциальные поверхности в резистивном слое: а) при изгибе резистора под прямым углом; б) у металлического контакта.

Рис. 8. Формы контактных о6ластей и графики коэффициентов k.

Популярное:

Анализ систем автоматизированного управления численными методами Бурное развитие новейшей техники и всё большее внедрение современных разделов математики в инженерные исследования неизмеримо повысили требования к математической подготовке инженеров и научных работников, занимающихся прикладными вопросами. В настоящее время, требуется знание многих разделов современной математики и в первую очеред ...