Itnewsrussia.ru

Анализ современных технологий

Основные функциональные системы Solver HV

Основными функциональными системами Solver HV являются:

вакуумная система;

виброизолирующая система;

измерительная система;

система управления;

система термостатнрования образца.

Вакуумная система

Вакуумная система содержит:

вакуумную камеру;

форвакуумный насос; турбомолекулярный насос (ТМИ) с контроллером;

вакуумметры с блоком питания;

вакуумную арматуру (клапаны, трубопровод, уплотнения и т.д.).

Откачка воздуха из камеры производится с помощью двух насосов: форвакуумный насос осуществляет предварительную откачку воздуха, турбомолекулярный обеспечивает получение высокого вакуума и поддержание уровня вакуума во время работы зондового микроскопа.

Конструктивные особенности и технические характеристики насосов приведены в технической документации на эти устройства.

Виброизолирующая система

Одним нз основных факторов, определяющих пространственное разрешение любого зондового микроскопа, является качественная виброизоляция. В Solver HV использована комбинация активной и пассивной виброизоляции.

Камера установлена на столе активной виброизоляции. Стол состоит из системы активной виброзащиты и пассивной виброзащиты находящейся внутри столешницы.

Внутри вакуумной камеры имеется устройство пассивной виброизоляции в виде подвеса на пружинах с магнитным успокоителем (Рис. 4). Резонансная частота пружинного подвеса составляет величину около 1 Гц.

Рисунок 4 - Пассивная виброизоляция 1 - пружинный подвес, 2 - арретир. 3 - магнитный успокоитель. 4 - опорное кольцо

Популярное:

Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления Оптимизировать процесс напыления материала в магнетронной системе распыления: определить расстояние от поверхности мишени, на котором можно получить заданную толщину напыляемой пленки с требуемой неравномерностью при максимально возможной скорости напыления. Таблица 1. Вариант задания № варианта ...