Itnewsrussia.ru

Анализ современных технологий

Назначение и методы измерений

Высоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп Solver HV (далее Solver HV) предназначен для количественных и качественных измерении в условиях высокого вакуума. Solver HV позволяет с нанометровым разрешением проводить исследование поверхностных характеристик и приповерхностных физических параметров различных объектов, допускающих их размещение в вакууме.

В зависимости от выбранной комплектации Solver HV позволяет исследовать образцы в различных условиях:

магнитное поле до I к Гаусс;

нагрев до 1500С;

охлаждение до 50 К.

Наличие свободных фланцев позволяет устанавливать дополнительное оборудование и использовать СЗМ SolverHV для модификации в высоком вакууме поверхностных наноструктур с помощью ионного, электронного или плазменного источников, направленных на исследуемую область объекта.СЗМ Solver HV позволяет проводить измерения с использованием следующих методов: Микроскопия (Сканирующая Туннельная Микроскопия (СТМ), Атомно-Силовая Микроскопия (АСМ) (контактная + полуконтактная + бесконтактная), Латерально-Силовая Микроскопия (ЛСМ), Метод Отображения Фазы, Метод Модуляции Силы, Отображение Адгезионных Сил, Магнитно-Силовая Микроскопия (МСМ), Электростатическая Силовая Микроскопия (ЭСМ), Сканирующая Емкостная Микроскопия (СЕМ) (бесконтактная), Метод Зонда Кельвина (МЗК), Отображение Сопротивления Растекания (ОСР). Спектроскопия АСМ (силовая, амплитудная, фазовая), СТМ (I(z), I(V)), Отображение Работы Выхода (ОРВ), Отображение Локальной Плотности Состояний (ОЛПС). Литография АСМ (Силовые (наногравировка и наночеканка) и Токовые (постоянные и переменные)), СТМ. Наноманипуляция (Контактные, Силовые).

Технические характеристики

Таблица 2

Параметр

Значение

Размер образца

до 10х10 мм

Позиционирование образца: Диапазон перемещения Точность перемещения

3х3 mm шаговых двигателей в вакууме 5x5 mm вручную в воздухе - дополнительно 5 мкм

Диапазон сканирования

50х50х2,5 мкм (±10%)

Способ сканирования

Сканирование зондом

Минимальный шаг сканирования

0,006 нм

Вакуумная система: Остаточное давление Время откачки

10-6 торр 30 мин до 10-5 торр

Система термостатирования: Диапазон рабочих температур: нагрев охлаждение Время установления температуры 110 К Точность поддержания температуры

до 1500С до 110 К (азотное) до 50 К (гелиевое) 30 мин ±0,10С

Магнитное поле

±0,1 Т

СЗМ контроллер: Напряжение питания Потребляемая мощность Вес

90-240 В, 50-60 Гц 80 Вт 16 кг

Система видеонаблюдения: CCD камера Монитор Разрешение Числовая апертура Увеличение с CCD камерой Поле зрения:

1/2”, цветная 14”, цветной 5 мкм 0,1 от 47x до 578x от 2 до 0,49 мм

Система виброизоляции Виброизолирующий стол: Активное демпфирование Пассивное демпфирование Максимальная нагрузка Размер виброизолирующей столешницы Демпфирующая система в рабочей камере

0,6 - 100 Гц > 100 Гц 300 кг 600х600 мм резонансная частота 1 Гц

Популярное:

Конструкторско-технологическое проектирование печатной платы печатная плата Проектирование печатных плат (ПП) представляет трудоемкий, но очень важный процесс. Для того, чтобы обеспечить функционирование электронной аппаратуры (ЭА) необходимы не только схемотехнические решения, функциональная точность, надежность, но и учет влияния внешней среды, конструктивных, эксплуатационных требований, пр ...